油擴(kuo)散泵抽氣(qi)系統的*缺(que)點是油蒸(zheng)汽的污染(rǎn)。
系統中污(wu)染物的主(zhu)要來源如(ru)下：
(1)擴散泵(bèng)油蒸汽的(de)返流。這是(shi)最重大的(de)污染源。
(2)系(xì)統中的零(líng)部件，在裝(zhuāng)配時用有(you)油的手拿(na)。用有油污(wū)的手套拿(ná)，這樣粘染(rǎn)的有機分(fen)子可以造(zao)成系統内(nei)的污染。
(3)前(qián)級油封機(ji)械泵油的(de)返流。這個(ge)問題也很(hěn)嚴重，當入(rù)口壓力較(jiao)高時，在達(dá)到過渡區(qu)(1～10-1Pa)壓力時，機(ji)械泵的油(you)蒸汽即可(kě)直接進入(rù)擴散泵内(nei)，對系統直(zhí)接進行污(wū)染。很多真(zhen)空工藝過(guo)程的污染(rǎn)來自機械(xie)泵返油。當(dang)停機械泵(beng)時如不及(jí)時向泵内(nei)放大氣，機(ji)械泵油可(kě)直接返到(dào)擴散泵油(yóu)鍋内。當擴(kuò)散泵起動(dòng)時對系統(tǒng)的污染更(geng)為嚴重。
(4)抽(chōu)氣系統中(zhōng)密封材料(liao)的放氣造(zao)成的污染(ran)。特别是人(rén)造橡膠密(mi)封圈，密封(fēng)油脂，潤滑(huá)油等，也同(tong)樣造成嚴(yan)重的污染(ran)。
(5)當停泵後(hou)放大氣時(shi)，使真空零(líng)部件在空(kong)氣中粘污(wū)上水蒸汽(qì)，油煙等，造(zào)成對真空(kong)系統的污(wu)染。
消除系(xi)統油蒸氣(qi)返流的具(ju)體措施為(wéi)：
(1)加大擴散(san)泵的啟動(dong)功率來縮(suo)短機械泵(beng)與擴散泵(beng)切換時的(de)壓力過渡(du)區。
(2)通過改(gai)變系統操(cāo)作工藝和(he)用閥門來(lai)避開返流(liú)危險區（切(qie)換過渡區(qū)）。例如，可使(shi)一個按照(zhào)預定速度(du)開啟的高(gao)真空閥，逐(zhu)漸地開啟(qi)它，保證進(jin)入擴散泵(beng)的氣體流(liu)量低于它(ta)的*排氣量(liàng)，并且又使(shǐ)機械泵抽(chou)速保證擴(kuo)散泵前級(ji)壓力，以使(shǐ)擴散泵能(neng)樹立工作(zuò)。這樣就能(néng)避開過渡(dù)區的出現(xiàn)。
(3)改善操作(zuo)工藝，将擴(kuo)散泵的加(jiā)熱功率調(diào)至*功率，避(bì)免出現泵(bèng)油爆沸現(xian)象；一般擴(kuò)散泵在加(jiā)熱開始和(he)關閉過程(chéng)中，返流将(jiāng)出現峰值(zhí)，所以可用(yòng)泵口處的(de)高真空閥(fá)門來控制(zhì)避免返流(liu)。
(4)在擴散泵(bèng)入口處加(jiā)裝液氫冷(leng)阱或吸附(fù)阱來捕集(jí)返流油蒸(zhēng)氣。
(5)選用*的(de)擴散泵工(gōng)作液。